目前，电火花线切割机床结构更加精密，为了保证高精度的加工，采用了许多技术措施来提高主机精度：控制温度。采用水温冷却装置，使机床内部温度与水温相同，减小了机床的热变形。采用直线电机。响应度高，精密定位可实现0.1m当量的控制，进给无振动，无噪音，提高放电频率，保持稳定放电，两次切割Ry5m。采用陶瓷、聚合物人造花岗岩制件，其热惯性比铸铁大25倍，降低温度变化对切割精度的影响。线切割机床采用固定工作台、立柱移动结构，提高工作台承重，不受浸水加工和工件重量变化的影响。采用浸入式加工，降低工件热变形。电机伺服，闭环电极丝张力控制。高精度对刀：采用电压调制对刀电源。对刀精度可达到±0.005mm，不损伤工件，不论干湿。

线切割原理介绍及工业安全加工机发展史 20世纪中期, 苏联拉扎林科夫妇研究开关触点受火花放电腐蚀损坏的现象和原因时﹐发现电火花的瞬时高温可以使局部的金属熔化﹑氧化而被腐蚀掉﹐从而开创和发明了电火花加工方法,  线切割 放电机也于1960年发明于苏联。当时以投影器观看轮廓面前后左右手动进给工作台面加工﹐其实认为加工速度虽慢﹐却可加工传统机械不易加工的微细形状。代表的实用例子是化织喷嘴的异形孔加工。当时使用之加工液用矿物质性油(灯油)。绝缘性高﹐极间距离小﹐加工速度低于现在械械﹐实用性受限。 将之NC化﹐在脱离子水(接近蒸馏水)中加工的机种首先由瑞士放电加工机械制造厂在1969年巴黎工作母机展览会中展出﹐改进加工速度﹐确立无人运转状况的安全性。但NC纸带的制成却很费事﹐若不用大型计算机自动程序设计﹐对使用者是很大的负担。在廉价的自动程序设计装置出现前﹐普及甚缓。 日本制造厂开发用小型计算机自动程序设计的线切割放电加工机廉价﹐加速普及。线切割放电加工的加工形状为二次元轮廓。